2020.02.10-02.12高解析分析式雙槍型聚焦離子束系統(FIB)見習課程

1.課程目的：在半導體產業中隨著製程技術的進步，元件的線寬逐漸縮小且其複雜度也隨之提升，因此在執行故障分析的時候，聚焦離子束系統的微區切割、研磨功能便可達到快速檢測的目的，此外其覆鍍金屬或介電質膜的功能也可用來修補光罩及固態電子元件線路修復，因。本課程目的在於推廣聚焦離子束系統的使用，對象為有心想了解聚焦離子束系統的應用範疇、運作原理或自行操作，儀器管理員將教授完整的儀器操作流程。