2020.08.31-09.02高解析分析式雙槍型聚焦離子束系統(FIB)見習課程

1.課程目的：在半導體產業中隨著製程技術的進步，元件的線寬逐漸縮小且其複雜度也隨之提升，因此在執行故障分析的時候，聚焦離子束系統的微區切割、研磨功能便可達到快速檢測的目的，此外其覆鍍金屬或介電質膜的功能也可用來修補光罩及固態電子元件線路修復，因。本課程目的在於推廣聚焦離子束系統的使用，對象為有心想了解聚焦離子束系統的應用範疇、運作原理或自行操作，儀器管理員將教授完整的儀器操作流程。

2.參加人員：對欲考取FIB使用執照，或有興趣同學。

3.課程時間： 109/08/31-09/02，最多不超過五人。

4.課程內容：(詳如附件)

5.課程地點：應用科技大樓120室

6.報名費用： 1,000元

7.報名方式：請填好附件表格至前瞻理工中心辦公室(應用科技大樓131室)報名與繳費   

8.報名截止：額滿或109/08/28下午5:00截止

9.備註

a) 曾經參與訓練課程的人員不得再報名參加

b) 同實驗室原則上只取一名參與訓練課程，其餘則為候補人員

    如有問題請聯絡中心人員： 蔡和廷 04-22840234 #120