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場發射掃描式電子顯微鏡(SEM)

已開放使用

型號:ZEISS ULTRA PLUS

儀器規格
  1. 加速電壓:最小加速電壓0.02kV, 最大加速電壓30kV, 電壓可調整之最小刻度10 Volt
  2. 解析度:1.0 nm at 15kV at WD= 2mm。1.7 nm at 1kV at WD= 2mm。3.5 nm at 0.2kV at WD= 2mm。4.0 nm at 0.1kV at WD =2mm
  3. 電子束流:4pA ~ 20pA
  4. 倍率:12X-1,000,000X (SE mode) 與 100X-1,000,000 (BSE mode)
  5. 物鏡:為電磁與靜電透鏡組,以降低磁場對磁性材料之影響
  6. 工作距離:1mm ~ 50mm

訊號偵測器
  1. 具有在光軸上 360 度環狀 fully In-lens 二次電子偵測器。
  2. 具有樣品室二次電子偵測器, Bias 可調整 -250V ~ 400V。
  3. 具有光軸上 360度環狀 fully In-Lens能量與角度選擇背向電子偵測器, 並具備能量過濾 柵欄 0V to -1.5kV Bias 調整以過濾二次電子雜訊。
  4. 具有 IR-CCD。
  5. 5. 4-Q 角度選擇背向電子偵測器 (Angel selective Solid state BSE detector) 功能, 可加裝於 物鏡下方(10mm)。
  6. 電荷累積消除補償器。

主要附件:EDS能譜分析儀(OXFORD X-Max 50 mm2)

樣品準備 :

使用規則

  1. 嚴禁拍攝具高揮發性、毒性、腐蝕性之材料,磁性材料(含鐵、鈷、鎳)及高分子材料需與儀器管理員討論後決定能否拍攝。違反者停權處分並負責賠償損失。
  2. 操作機台請填寫使用紀錄簿,詳盡使用時間、試片種類、單位、委測人員及操作者,未填寫使用紀錄簿者經發現後,取消其使用權。
  3. 儀器如遇臨時維修,本中心有權利將委(自)測者時間取消,直到儀器可正常操作。
  4. 經授權之人(儀器管理員、具執照之操作員)方得操作儀器,嚴禁無執照者自行操作,經發現即取消該實驗室預約/使用權。
  5. 自行操作者請善盡管理義務,切勿讓無執照者自行操作機台,或未經管理員同意將時段借給其他實驗室使用,如導致機台損壞,操作者需負連帶責任。
  6. 操作時機台如有異狀,請立即通知管理員,勿擅自做維修動作。
  7. 未經管理員同意,請勿將實驗室各項物品及耗材私自攜出實驗室或任意取用。
  8. 實驗完畢請將檯面及Holder清理乾淨,離開前請再次確認儀器狀態(EHT off、腔體Pump與否、EDS偵測器歸Home、載台Tilt於0度、螢幕畫面保持在電子束頁面),個人物品請記得帶走,本實驗室恕不負保管責任。
  9. 實驗室禁止攜帶飲料、食物入內。
  10. 使用規則如有未詳盡事宜將隨時修正並公告。

樣品準備

  1. 本機台拒絕拍攝具高揮發性、毒性、腐蝕性之材料,磁性材料(含鐵、鈷、鎳)及高分子材料需與儀器管理員討論後決定能否拍攝。

儀器管理員資訊

  1. 諮詢教授:宋振銘 教授 電話:04-22840500#406
  2. 儀器管理員:陳建宇 博士 電話:04-22840502#192
  3. 儀器管理員:王健懿 電話:04-22840502#183

預約方式

  1. 預約者須加入會員並至本中心預約線上預約,有執照者請帶執照來開通自行操作權限。
  2. 委測時段前一日或當日如無人預約,可與管理員預約自行操作。
  3. 請於預約後來電告知管理員試片種類、大小(塊材or粉末)、試片數量、鍍金與否。
  4. 因故取消實驗請於拍攝時段2日前線上取消,否則仍需支付開機費用(1hr)。累計達三次即停權處理。
  5. 請預約者準時抵達拍攝地點,未告知情況下遲到30分鐘者,取消該預約時段,並支付開機費用(1hr)。累計達三次即停權處理。
  6. 請自備空白CD/DVD光碟。
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